Технологическое оборудование для изготовления и обработки пластин материалов GaAs.
Установки для резки слитков/ростовых затравок STC-155 и Mikroslice-4
Установка SG15/25 с 3-мя зонами выращивания кристаллов, автоматизированными процессами
Установка для калибровки слитков, Jones-Shipman 1305. Установка для изготовления срезов, Jones-Shipman 1400.
Оборудование для кристаллографической ориентации монокристаллов, cs 26 И ДРОН 3
Установка для снятия фаски, SVG 8614-G. Станок для шлифовки пластин, Al0, PeterWalters.
. Микроскоп Nikon с призмой Камарского. Интерферометр Malvern, М 15000. Прибор контроля толщины пластины, sonogage 200.
Две установки полирования пластин, Alo, Германия
Две установки отмывки пластин, SemiTool, США.
